首页 > 产品中心 > 光刻机 > 荷兰4PICO光刻机  

  • 荷兰4PICO 大幅面无掩模激光直写光刻机PicoMaster XF 500-H
荷兰4PICO 大幅面无掩模激光直写光刻机PicoMaster XF 500-H

荷兰4PICO 大幅面无掩模激光直写光刻机PicoMaster XF 500-H

  • PicoMaster XF 500-H 是一款具有超高精度的多功能紫外激光直写设备,它具有每毫米超过1200条线的输出能力,特别适合用户在光敏层上自由地创造微结构。独有的全息设计软件,提供了许多预先安装的全息效果及其光栅、结构的运算方法,它们可以很轻松地将把这些效果组合起来,十分利于用户的产品开发。同时软件也允许用户添加自己的算法和结构,来定制数据库、完善产品设计。

产品详情

PicoMaster XF 500-H 是一款具有超高精度的多功能紫外激光直写设备,它具有每毫米超过1200条线的输出能力,特别适合用户在光敏层上自由地创造微结构。独有的全息设计软件,提供了许多预先安装的全息效果及其光栅、结构的运算方法,它们可以很轻松地将把这些效果组合起来,十分利于用户的产品开发。同时软件也允许用户添加自己的算法和结构,来定制数据库、完善产品设计。


系统优点

v使用GLV (Grating Light Valve)技术,可实现高达1000个单位像素的激光束高速并行直写;

v构建独立设计库,可完成最高自由度的3D光刻,并支持标准图像源、个性化的3D设计源;

v支持最大 0.5米 x 0.5米的激光直写面积,低规格条件下,直写只需55个小时;

v选择关闭灰度写入功能,直写相同曝光面积,其直写速度将提升2倍;

v可定制更大幅面的无掩模激光直写系统解决方案.